產品概述
工業直流式探針測試儀簡介:
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
BEST-300C 型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。
主機主要由數控恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統組成。自動/手動量程可選;電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換:儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入,簡便可靠;具有零位、滿度自校功能;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
工業直流式探針測試儀參數特點:
1. 便(bian)于查看(kan)的(de)顯示(shi)/直觀的(de)操作(zuo)性:高亮度、超清晰4.3寸彩(cai)色LCD顯示(shi);操作(zuo)易學,直觀使用;
2. 基本設置操(cao)作簡(jian)單(dan),方阻(zu)、電(dian)(dian)阻(zu)、電(dian)(dian)阻(zu)率、電(dian)(dian)導率和分選(xuan)結果;多種參(can)數(shu)同時顯示(shi)。
3. 精度(du)(du)高:電(dian)阻基(ji)(ji)本(ben)準確(que)度(du)(du): 0.05%;方阻基(ji)(ji)本(ben)準確(que)度(du)(du):3%;電(dian)阻率基(ji)(ji)本(ben)準確(que)度(du)(du):3%
4. 整機(ji)測量(liang)最大(da)相(xiang)對誤差(cha):≤±3%;整機(ji)測量(liang)標準不確定度(du):≤±3%
5. 四位(wei)半顯示讀數;八量程自動(dong)或手(shou)動(dong)測試;
6. 測(ce)量范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;
7. 正反向(xiang)電(dian)流源修正測(ce)量電(dian)阻誤差(cha)
8. 恒(heng)流源(yuan):電流量(liang)程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六(liu)檔;儀器(qi)配有(you)恒(heng)流源(yuan)開(kai)關(guan)可(ke)有(you)效(xiao)保護被測件,即先讓探(tan)針頭壓(ya)觸在被測材料上,后(hou)開(kai)恒(heng)流源(yuan)開(kai)關(guan),避免接(jie)觸瞬間(jian)打火。為了(le)提高工作效(xiao)率,如探(tan)針帶電壓(ya)觸單晶對材料及測量(liang)并無(wu)影響時,恒(heng)流源(yuan)開(kai)關(guan)可(ke)一(yi)直處(chu)于開(kai)的(de)狀態。
9. 可配合多種(zhong)探(tan)頭(tou)進行測(ce)試;也可配合多種(zhong)測(ce)試臺(tai)進行測(ce)試。
10. 校正功能:可手動(dong)(dong)或(huo)自動(dong)(dong)選擇測試量程(cheng) 全量程(cheng)自動(dong)(dong)清零。
11. 厚度(du)可預(yu)設,自動(dong)修正樣(yang)品(pin)的電(dian)阻率(lv),無需查表即(ji)可計算出電(dian)阻率(lv)。
12. 自動進行電(dian)流換向,并進行正反向電(dian)流下的電(dian)阻率(或方(fang)塊電(dian)阻)測量,顯示平均值(zhi).測薄片時(shi),可自動進行厚度修正。
13. 雙電測(ce)測(ce)試模式(shi),測(ce)量精度高、穩定(ding)性好.
14. 具備溫度補償功能,修正被測材料溫漂(piao)帶(dai)來的測試(shi)結果偏差。
15. 比較(jiao)器(qi)判斷燈(deng)直(zhi)接顯示(shi),勿需(xu)查看屏幕,作業(ye)效(xiao)率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可(ke)對被(bei)測(ce)件進行HI/LOW判(pan)斷,可(ke)直接在LCD使用標志顯示;也可(ke)通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。
16. 測試(shi)模式:可(ke)連(lian)接電(dian)(dian)腦測試(shi)、也(ye)可(ke)不(bu)連(lian)接電(dian)(dian)腦單機(ji)測試(shi)。
17. 豐富的接(jie)口(kou),Handler接(jie)口(kou)、RS232接(jie)口(kou)、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制。U盤可記錄測試數據
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