直流金屬電阻率測試儀簡介：

具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點。儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

金屬電阻率測試儀參數：

1. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直(zhi) 徑：圓測試臺直(zhi)接(jie)測試方式(shi) Φ15～130mm，手持方式(shi)不限

方(fang)測(ce)試(shi)臺(tai)(tai)直(zhi)接(jie)測(ce)試(shi)方(fang)式 180mm×180mm，手(shou)(shou)持方(fang)式不限(xian). 長(高)度： 測(ce)試(shi)臺(tai)(tai)直(zhi)接(jie)測(ce)試(shi)方(fang)式 H≤100mm, 手(shou)(shou)持方(fang)式不限(xian).

BEST-300C 測試儀能夠測量半導體材(cai)料體電(dian)阻率ρ、方塊電(dian)阻（薄片電(dian)阻率）R 口

以及體電(dian)阻 R，測量時需調整相應的修(xiu)正系數和選擇相應的功能(neng)。

本(ben)(ben)產(chan)品不(bu)但提(ti)(ti)(ti)供了(le)電(dian)(dian)(dian)阻率(lv)ρ、方(fang)塊電(dian)(dian)(dian)阻 R 口(kou)以及體電(dian)(dian)(dian)阻 R 測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)的基本(ben)(ben)修正系數(shu)設(she)(she)定， 還提(ti)(ti)(ti)供了(le)產(chan)品厚(hou)度(du)(du) G、外形(xing)和測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)位置的修正系數(shu) D 設(she)(she)定，極大的提(ti)(ti)(ti)高了(le)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)精度(du)(du)。測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)類別(bie)的快捷選擇方(fang)式(shi)，方(fang)便了(le)用戶同時(shi)(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)多個參數(shu)，提(ti)(ti)(ti)高測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)效率(lv)。整機(ji)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)最大相對誤差(cha)：≤±3%；整機(ji)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標準不(bu)確定度(du)(du)：≤±3%四位半(ban)顯(xian)示(shi)(shi)讀數(shu)；八量(liang)(liang)程(cheng)自動或手(shou)動測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)；范圍寬： 電(dian)(dian)(dian)阻：10-4Ω～105Ω ；方(fang)阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正反向電(dian)(dian)(dian)流源(yuan)(yuan)修正測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)電(dian)(dian)(dian)阻誤差(cha)恒(heng)(heng)流源(yuan)(yuan)：電(dian)(dian)(dian)流量(liang)(liang)程(cheng)分為(wei)： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀(yi)器配有恒(heng)(heng)流源(yuan)(yuan)開(kai)關可(ke)(ke)有效保護被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)件，即先讓探(tan)針(zhen)頭壓觸在被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)材料(liao)上，后開(kai)恒(heng)(heng)流源(yuan)(yuan)開(kai)關，避免接觸瞬間打火。為(wei)了(le)提(ti)(ti)(ti)高工(gong)作效率(lv)，如(ru)探(tan)針(zhen)帶電(dian)(dian)(dian)壓觸單晶對材料(liao)及測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)并無影(ying)響時(shi)(shi)，恒(heng)(heng)流源(yuan)(yuan)開(kai)關可(ke)(ke)一直處于開(kai)的狀態。可(ke)(ke)配合多種探(tan)頭進行(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)；也可(ke)(ke)配合多種測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)臺進行(xing)(xing)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)。校正功能(neng)：可(ke)(ke)手(shou)動或自動選擇測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)量(liang)(liang)程(cheng) 全量(liang)(liang)程(cheng)自動清零。厚(hou)度(du)(du)可(ke)(ke)預設(she)(she)，自動修正樣品的電(dian)(dian)(dian)阻率(lv),無需(xu)查表即可(ke)(ke)計算出電(dian)(dian)(dian)阻率(lv)自動進行(xing)(xing)電(dian)(dian)(dian)流換向,并進行(xing)(xing)正反向電(dian)(dian)(dian)流下的電(dian)(dian)(dian)阻率(lv)(或方(fang)塊電(dian)(dian)(dian)阻)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang),顯(xian)示(shi)(shi)平均值.測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)薄(bo)片時(shi)(shi),可(ke)(ke)自動進行(xing)(xing)厚(hou)度(du)(du)修正。雙電(dian)(dian)(dian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)模式(shi)，測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)高、穩(wen)定性好.具備溫(wen)度(du)(du)補償功能(neng)，修正被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)材料(liao)溫(wen)漂帶來的測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)結果偏差(cha)。比較(jiao)器判斷燈直接顯(xian)示(shi)(shi)，勿需(xu)查看屏幕(mu)，作業(ye)效率(lv)得以提(ti)(ti)(ti)高。

3檔分選功能：超上限，合(he)格，超下限，可對被測(ce)件進行HI/LOW判(pan)斷，可直接(jie)(jie)在LCD使用(yong)標志(zhi)顯示；也可通過(guo)USB接(jie)(jie)口、RS232接(jie)(jie)口輸出更為(wei)詳細(xi)的分選結果。測(ce)試模(mo)式：可連(lian)接(jie)(jie)電腦(nao)測(ce)試、也可不連(lian)接(jie)(jie)電腦(nao)單機測(ce)試。接(jie)(jie)口，Handler接(jie)(jie)口、RS232接(jie)(jie)口、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制(zhi)。U盤可記(ji)錄測(ce)試數據軟(ruan)(ruan)件功能（選配(pei)）：軟(ruan)(ruan)件可記(ji)錄、保存(cun)、各(ge)點的測(ce)試數據；可供用(yong)戶對數據進行各(ge)種數據分

在設定模式下（設定完(wan)畢，保存好數據后），選擇測量類別（電(dian)阻(zu)率ρ、方塊電(dian)阻(zu)

（薄(bo)片(pian)電阻(zu)率）R 口或體(ti)電阻(zu) R 中(zhong)三選一，切換儀器到“測(ce)量(liang)"模式(shi)，窗口左側“測(ce)量(liang)" 模式(shi)燈亮。電阻(zu)測(ce)量(liang),注(zhu)意良好接觸，電壓測(ce)試端在內側；半導體(ti)參數測(ce)試，將探(tan)針與樣品良好接觸，注(zhu)意壓力(li)要適中(zhong)；由數字顯(xian)示(shi)窗直接讀(du)出測(ce)量(liang)值。

注意！測量(liang)狀態中，電(dian)流(liu)(liu)(liu)量(liang)程(cheng)(cheng)默認(ren)為(wei)自動(dong)(dong)方(fang)式，也可調(diao)整為(wei)手(shou)(shou)動(dong)(dong)方(fang)式，手(shou)(shou)動(dong)(dong)方(fang)式下， 電(dian)流(liu)(liu)(liu)量(liang)程(cheng)(cheng)適(shi)合的，儀(yi)器(qi)會穩(wen)定顯示(shi)數據，電(dian)流(liu)(liu)(liu)量(liang)程(cheng)(cheng)不適(shi)合的會給出超量(liang)程(cheng)(cheng)或欠量(liang)程(cheng)(cheng)閃爍提示(shi)，對于(yu)超量(liang)程(cheng)(cheng)，說(shuo)明電(dian)流(liu)(liu)(liu)過(guo)大，要調(diao)到(dao)較(jiao)小電(dian)流(liu)(liu)(liu)檔；對于(yu)欠量(liang)程(cheng)(cheng)，說(shuo)明電(dian)流(liu)(liu)(liu)過(guo)小， 要調(diao)到(dao)較(jiao)大電(dian)流(liu)(liu)(liu)檔。

直流金屬電阻率測試儀技術指標              

1、電阻測量范圍： 0.01×104Ω ～1×1018Ω。

2、電流測量范圍為： 2×10-4A～1×10-16A

3、顯 示 方 式：數字彩屏觸摸顯示

4、內置測試電壓： 10V 、50V、100V、250、500、1000V

5、基本準確度：1%

6、使用環境： 溫度：0℃～40℃，相對濕度<80%

7、機內測試電壓： 10V/50V/100/250/500/1000V 任意切換

8、供電形式： AC 220V，50HZ，功耗約5W

9、顯示類別：電阻、電阻率、電流。

10、輸入方式：真彩64位手寫觸摸。

11、顯示結果：電阻、電阻率、電流。

12、試驗要求：直徑大于100mm(小于此尺寸，電極需定做)