金屬電阻率測試儀簡介：

具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點。儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

金屬電阻率測試儀參數：

1. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直 徑：圓測(ce)試(shi)臺(tai)直接測(ce)試(shi)方(fang)式(shi) Φ15～130mm，手持方(fang)式(shi)不限

方(fang)(fang)(fang)測(ce)試臺直(zhi)(zhi)接(jie)測(ce)試方(fang)(fang)(fang)式(shi) 180mm×180mm，手持方(fang)(fang)(fang)式(shi)不限. 長(高)度(du)： 測(ce)試臺直(zhi)(zhi)接(jie)測(ce)試方(fang)(fang)(fang)式(shi) H≤100mm, 手持方(fang)(fang)(fang)式(shi)不限.

BEST-300C 測(ce)試儀能夠(gou)測(ce)量半導體材料體電(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)ρ、方塊電(dian)(dian)阻(zu)(zu)（薄片電(dian)(dian)阻(zu)(zu)率(lv)）R 口

以及體電阻 R，測量時需調(diao)整相(xiang)應的修正系數和選擇相(xiang)應的功能。

本(ben)產(chan)品不(bu)但(dan)提(ti)供(gong)了(le)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻率(lv)ρ、方(fang)(fang)塊電(dian)(dian)(dian)(dian)阻 R 口以及(ji)體(ti)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻 R 測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)的(de)基本(ben)修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)系數(shu)設定， 還(huan)提(ti)供(gong)了(le)產(chan)品厚(hou)度(du)(du) G、外形和測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)位(wei)置的(de)修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)系數(shu) D 設定，極大(da)的(de)提(ti)高(gao)了(le)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)精(jing)度(du)(du)。測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)類(lei)別的(de)快(kuai)捷選擇(ze)(ze)方(fang)(fang)式(shi)，方(fang)(fang)便了(le)用戶同時(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)多個參數(shu)，提(ti)高(gao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)效(xiao)率(lv)。整機測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)最大(da)相對誤差(cha)(cha)：≤±3%；整機測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)標準不(bu)確定度(du)(du)：≤±3%四位(wei)半顯示讀數(shu)；八量(liang)(liang)程(cheng)自(zi)動(dong)(dong)或手動(dong)(dong)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)；范圍寬(kuan)： 電(dian)(dian)(dian)(dian)阻：10-4Ω～105Ω ；方(fang)(fang)阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正(zheng)(zheng)反向(xiang)電(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)源(yuan)修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻誤差(cha)(cha)恒(heng)流(liu)源(yuan)：電(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)量(liang)(liang)程(cheng)分(fen)為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六(liu)檔；儀器配有恒(heng)流(liu)源(yuan)開(kai)(kai)關(guan)可(ke)有效(xiao)保護被(bei)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)件，即先讓探針頭(tou)(tou)壓觸在被(bei)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)材料上，后開(kai)(kai)恒(heng)流(liu)源(yuan)開(kai)(kai)關(guan)，避免(mian)接(jie)觸瞬間打(da)火。為了(le)提(ti)高(gao)工作(zuo)效(xiao)率(lv)，如探針帶(dai)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓觸單晶(jing)對材料及(ji)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)并(bing)(bing)無影(ying)響(xiang)時(shi)，恒(heng)流(liu)源(yuan)開(kai)(kai)關(guan)可(ke)一直(zhi)處于開(kai)(kai)的(de)狀(zhuang)態。可(ke)配合(he)多種(zhong)(zhong)探頭(tou)(tou)進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)；也可(ke)配合(he)多種(zhong)(zhong)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)臺進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)。校(xiao)正(zheng)(zheng)功能：可(ke)手動(dong)(dong)或自(zi)動(dong)(dong)選擇(ze)(ze)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)量(liang)(liang)程(cheng) 全量(liang)(liang)程(cheng)自(zi)動(dong)(dong)清零。厚(hou)度(du)(du)可(ke)預設，自(zi)動(dong)(dong)修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)樣(yang)品的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻率(lv),無需(xu)查表即可(ke)計算出電(dian)(dian)(dian)(dian)阻率(lv)自(zi)動(dong)(dong)進行電(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)換向(xiang),并(bing)(bing)進行正(zheng)(zheng)反向(xiang)電(dian)(dian)(dian)(dian)流(liu)下的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻率(lv)(或方(fang)(fang)塊電(dian)(dian)(dian)(dian)阻)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang),顯示平均值.測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)薄片(pian)時(shi),可(ke)自(zi)動(dong)(dong)進行厚(hou)度(du)(du)修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)。雙電(dian)(dian)(dian)(dian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)模式(shi)，測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)度(du)(du)高(gao)、穩定性好.具備溫度(du)(du)補(bu)償(chang)功能，修(xiu)(xiu)正(zheng)(zheng)被(bei)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)材料溫漂帶(dai)來的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)結果(guo)偏差(cha)(cha)。比較器判(pan)斷(duan)燈(deng)直(zhi)接(jie)顯示，勿需(xu)查看屏幕，作(zuo)業效(xiao)率(lv)得(de)以提(ti)高(gao)。

3檔(dang)分選功(gong)能(neng)：超(chao)上限(xian)，合格，超(chao)下限(xian)，可(ke)(ke)對(dui)被測(ce)件(jian)進行HI/LOW判斷，可(ke)(ke)直接(jie)(jie)在LCD使用(yong)標志(zhi)顯示；也可(ke)(ke)通(tong)過USB接(jie)(jie)口、RS232接(jie)(jie)口輸(shu)出更為詳(xiang)細的分選結果。測(ce)試(shi)模式：可(ke)(ke)連接(jie)(jie)電(dian)腦測(ce)試(shi)、也可(ke)(ke)不連接(jie)(jie)電(dian)腦單機(ji)測(ce)試(shi)。接(jie)(jie)口，Handler接(jie)(jie)口、RS232接(jie)(jie)口、USB HOST、USB DEVICE。實(shi)現遠(yuan)程控制。U盤可(ke)(ke)記錄測(ce)試(shi)數(shu)(shu)據軟件(jian)功(gong)能(neng)（選配）：軟件(jian)可(ke)(ke)記錄、保(bao)存、各點的測(ce)試(shi)數(shu)(shu)據；可(ke)(ke)供用(yong)戶(hu)對(dui)數(shu)(shu)據進行各種數(shu)(shu)據分

在設(she)定模式下(xia)（設(she)定完畢，保存好數(shu)據后），選擇測量類(lei)別（電阻(zu)率(lv)ρ、方塊電阻(zu)

（薄(bo)片電阻率）R 口或體電阻 R 中(zhong)三選一，切(qie)換儀器到“測(ce)量"模(mo)式(shi)，窗口左(zuo)側“測(ce)量" 模(mo)式(shi)燈亮。電阻測(ce)量,注意良好(hao)接(jie)觸，電壓測(ce)試端在內側；半導體參數(shu)測(ce)試，將探(tan)針與(yu)樣品良好(hao)接(jie)觸，注意壓力要適(shi)中(zhong)；由數(shu)字顯示窗直接(jie)讀(du)出測(ce)量值(zhi)。

注意！測量(liang)(liang)(liang)狀態中，電(dian)(dian)(dian)(dian)流量(liang)(liang)(liang)程(cheng)默認(ren)為自(zi)動方式，也可調整為手動方式，手動方式下， 電(dian)(dian)(dian)(dian)流量(liang)(liang)(liang)程(cheng)適合的，儀(yi)器會穩定(ding)顯示數據，電(dian)(dian)(dian)(dian)流量(liang)(liang)(liang)程(cheng)不(bu)適合的會給出(chu)超量(liang)(liang)(liang)程(cheng)或欠量(liang)(liang)(liang)程(cheng)閃爍提(ti)示，對于超量(liang)(liang)(liang)程(cheng)，說(shuo)明(ming)電(dian)(dian)(dian)(dian)流過(guo)(guo)大，要(yao)調到較小電(dian)(dian)(dian)(dian)流檔；對于欠量(liang)(liang)(liang)程(cheng)，說(shuo)明(ming)電(dian)(dian)(dian)(dian)流過(guo)(guo)小， 要(yao)調到較大電(dian)(dian)(dian)(dian)流檔。